序号

指标名称

技术指标

1

使用方式及

结构形式

在真空外大气环境下竖直放置使用，六支腿结构形式

2

负载重量

13kg

3

外形尺寸

上台面直径120mm，下台面直径200mm，高度190mm

4

角度分辨率

＜5″

5

角度有效调整范围

±2°

6

水平、升降

复合调整范围

±2mm

7

位移分辨率

＜5um